光学干涉测厚仪

应用场合

• 光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶带、Mylar膜、OCA光学胶、光阻等测量。

• 应用在涂胶工序时，该设备可放置于涂胶池后、烘箱前，在线测量涂胶的厚度; 也可以在线测量离型膜涂布的厚度。其精度极高，应用甚广，尤其适合厚度要求达到纳米级的透明多层物体的厚度测量。

产品性能/参数

测量范围: 0.1pm~100μm

测量精度: 0.4%

测量重复性: ±0.4nm (3σ )

波长范围: 380nm~1100nm

响应时间: 5~500ms

测量光斑: 1mm~30mm

动态扫描测量重复性:10nm